帯状薄膜ミラーを利用したMEMS光スイッチ－基板間ギャップ縮小による特性改善－

論文・著書情報

タイトル

和文:	帯状薄膜ミラーを利用したMEMS光スイッチ－基板間ギャップ縮小による特性改善－
英文:	A MEMS Optical Switch Using a Belt-shaped Thin Film Mirror - An Improvement of Characteristic by Reduction of Gap Width between Substrates -

著者

和文:	奥津和俊, 松本勇樹, 西村雅彦, 佐藤海二.
英文:	奥津和俊, 松本勇樹, 西村雅彦, KAIJI SATO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 153-154

出版年月

2006年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2006年度精密工学会秋季大会学術講演会
英文:

開催地

和文:	宇都宮
英文: