Control of an XY Nano-Positioning Table for a Compact Nano-Machine Tool

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Control of an XY Nano-Positioning Table for a Compact Nano-Machine Tool

著者

和文:	Guilherme Jorge Maeda, 佐藤海二, 橋詰等, 進士忠彦.
英文:	Guilherme Jorge Maeda, KAIJI SATO, Hitoshi Hashizume, Tadahiko Shinshi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of JSME Int. Conf. LEM 21

巻, 号, ページ

pp. 987-992

出版年月

2005年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	LEM21

開催地

和文:
英文:	Nagoya, Japan