Fabrication of Thin Film Metallic Glass and its Application to Microactuator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of Thin Film Metallic Glass and its Application to Microactuator

著者

和文:	秦誠一, 佐藤海二, 下河辺明.
英文:	Seiichi HATA, Kaiji SATO, Akira SHIMOKOHBE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of International Symposium on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems MICRO/MEMS'99, Queensland

巻, 号, ページ

Vol. 3892 pp. 97-108

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Symposium on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems MICRO/MEMS'99

開催地

和文:
英文:	Queensland，Australia