レーザーアニールによる不純物ドープβ-Ga2O3薄膜の低温固相エピタキシャル結晶化

論文・著書情報

タイトル

和文:	レーザーアニールによる不純物ドープβ-Ga₂O₃薄膜の低温固相エピタキシャル結晶化
英文:	Low-temperature solid-phase epitaxial crystallization of impurity-doped β-Ga₂O₃ thin films by excimer laser annealing

著者

和文:	内田啓貴, 中村稀星, 土嶺信男, 小山浩司, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Hiroki Uchida, Kisho Nakamura, Nobuo Tsuchimine, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第77回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
英文:	The 77th JSAP Autumn Meeting, 2016 Extended Abstracts

巻, 号, ページ

出版年月

2016年9月1日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第77回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 77th JSAP Autumn Meeting, 2016

開催地

和文:	新潟県新潟市
英文:	Niigata City

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