非晶質Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜へのエキシマレーザーアニールによる室温配向結晶成長

論文・著書情報

タイトル

和文:	非晶質Ga₂O₃薄膜へのエキシマレーザーアニールによる室温配向結晶成長
英文:	Room-temperature oriented crystallization of amorphous Ga₂O₃ thin films by KrF excimer laser annealing

著者

和文:	塩尻大士, 福田大二, 山内涼輔, 金子智, 土嶺信男, 織田真也, 松田晃史, 吉本護.
英文:	daishi shiojiri, Daiji Fukuda, Ryosuke Yamauchi, Satoru Kaneko, Nobuo Tsuchimine, Masaya Oda, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	レーザー学会学術講演会第35回年次大会講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年1月11日

出版者

和文:	一般社団法人レーザー学会
英文:	The Laser Society of Japan

会議名称

和文:	レーザー学会学術講演会第35回年次大会
英文:

開催地

和文:	東京都港区
英文:	Tokyo