PLD 法を用いたGa<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜結晶成長におけるバッファー層導入効果

論文・著書情報

タイトル

和文:	PLD 法を用いたGa₂O₃薄膜結晶成長におけるバッファー層導入効果
英文:	Effect of a buffer layer on crystallization of PLD grown Ga₂O₃ thin films

著者

和文:	福田大二, 塩尻大士, 山内涼輔, 土嶺信男, 織田真也, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Daiji Fukuda, daishi shiojiri, Ryosuke Yamauchi, Nobuo Tsuchimine, Masaya Oda, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第75回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
英文:	The 75th JSAP Autumn Meeting, 2014 Extended Abstracts

巻, 号, ページ

出版年月

2014年9月1日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第75回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 75th JSAP Autumn Meeting, 2014

開催地

和文:	北海道札幌市
英文:	Sapporo City

公式リンク