PLD法によるGa<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜結晶成長に及ぼす雰囲気及び温度依存性

論文・著書情報

タイトル

和文:	PLD法によるGa₂O₃薄膜結晶成長に及ぼす雰囲気及び温度依存性
英文:	Influence of atmosphere and temperature on crystallization of PLD grown Ga₂O₃ thin films

著者

和文:	塩尻大士, 吉田彬, 土嶺信男, 小粥啓子, 淀徳男, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	daishi shiojiri, Akira Yoshida, Nobuo Tsuchimine, Keiko Ogai, Tokuo Yodo, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第61回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集
英文:	The 61st JSAP Spring Meeting, 2014 Extended Abstracts

巻, 号, ページ

出版年月

2014年3月1日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第61回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 61st JSAP Spring Meeting, 2014

開催地

和文:	神奈川県相模原市
英文:	Sagamihara City

公式リンク