CMOS-MEMS慣性センサにおける機械的ノイズの解析手法

論文・著書情報

タイトル

和文:	CMOS-MEMS慣性センサにおける機械的ノイズの解析手法
英文:

著者

和文:	小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 14p-P5-1

出版年月

2016年9月13日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第77回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	新潟県
英文:

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