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論文・著書情報


タイトル
和文:積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法（I） 
英文: 
著者
和文: 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之.  
英文: Teruaki Safu, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 15p-B10-8
出版年月 2016年9月13日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第77回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:新潟県 
英文: 
公式リンク https://www.jsap.or.jp/activities/annualmeetings/
 

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