Organic Compounds in Cleanroom Ambient Air for Contamination Control of Si Wafer Surface

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Organic Compounds in Cleanroom Ambient Air for Contamination Control of Si Wafer Surface

著者

和文:	鍵直樹, S. Fujii, K. Yuasa, N. Yabumoto.
英文:	N. Kagi, S. Fujii, K. Yuasa, N. Yabumoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Healthy Buildings/IAQ
英文:	Healthy Buildings/IAQ '97

巻, 号, ページ

Vol. 3 No. 3 pp. 527-532

出版年月

1997年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Healthy Buildings/IAQ '97

開催地

和文:	Washington DC
英文: