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論文・著書情報


タイトル
和文:ケイ素添加によるアモルファス炭素系膜の耐食性能の向上 
英文: 
著者
和文: 西川純平, 中野雅之, 稗田純子, 大竹尚登, 赤坂大樹.  
英文: Jumpei Nishikawa, Masayuki Nakano, Junko Hieda, NAOTO OHTAKE, Hiroki Akasaka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第77回応用物理学会秋季学術講演会 CDROM 15a-A26-9 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2016年9月14日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第77回応用物理学会秋季学術講演会 
英文:77 Th JSAP AUTUMN MEETING 
開催地
和文:新潟 
英文: 

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