Preparation of Ca–Si Films on (001) Al2O3 Substrates by an RF Magnetron Sputtering Method and Their Electrical Properties

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of Ca–Si Films on (001) Al2O3 Substrates by an RF Magnetron Sputtering Method and Their Electrical Properties

著者

和文:	上原睦雄, 秋山賢輔, 清水荘雄, 松島正明, 内田寛, 木村好里, 舟窪浩.
英文:	Mutsuo Uehara, Kensuke Akiyama, Takao Shimizu, Masaaki Matsushima, Hiroshi Uchida, Yoshisato Kimura, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Electronic Materials

巻, 号, ページ

Vol. 45 No. 6 pp. 3121-3126

出版年月

2016年3月2日

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI