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論文・著書情報


タイトル
和文:ポリマーナノインプリントにおける単原子レベル転写の達成と今後の展開 
英文:Single-atom-level patterning in polymer nanoimprint towards next-generation flexible devices 
著者
和文: 吉本 護.  
英文: MAMORU YOSHIMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:NGLワークショップ2016講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2016年7月8日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:応用物理学会・次世代リソグラフィ技術研究会NGLワークショップ2016 
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開催地
和文:東京 
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