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論文・著書情報


タイトル
和文:RFマグネトロンスパッタリング法による{110}高配向Ba(Ce,Y)O3ぺロブスカイト薄膜の作製 
英文: 
著者
和文: 佐藤 智也, 一ノ瀬 大地, 舟窪 浩, 内山 潔.  
英文: Tomoya Sato, Daichi Ichinose, HIROSHI FUNAKUBO, 内山 潔.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2015年9月13日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第76回応用物理学会秋季学術講演会 
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開催地
和文:名古屋市 
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