A Novel Noise Analysis Method with Multi-physics Simulation for Capacitive CMOS-MEMS Inertial Sensor System

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Novel Noise Analysis Method with Multi-physics Simulation for Capacitive CMOS-MEMS Inertial Sensor System

著者

和文:	小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 年吉洋, 益一哉.
英文:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 673-674

出版年月

2016年9月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016)

開催地

和文:
英文:	Tsukuba

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