A Spring Design for Tri-axis MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Spring Design for Tri-axis MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 485-486

出版年月

2016年9月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016)

開催地

和文:
英文:	Tsukuba

公式リンク