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タイトル
和文:スパッタリング法によるCa-Mg-Si基膜の作製と特性評価 
英文: 
著者
和文: 上原 睦雄, 黒川 満央, 秋山 賢輔, 松島 正明, 内田 寛, 木村 好里, 舟窪 浩.  
英文: Mutsuo Uehara, Mao Kurokawa, Kensuke Akiyama, masaaki matsushima, Hiroshi Uchida, YOSHISATO KIMURA, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2015年9月13日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第76回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:名古屋市 
英文: 

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