種々の基板上に作製した (Hf0.5Zr 0.5)O2薄膜の特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	種々の基板上に作製した (Hf0.5Zr 0.5)O2薄膜の特性
英文:

著者

和文:	白石貴久, 片山きりは, 横内達彦, 清水荘雄, 及川貴弘, 内田寛, 舟窪浩, 木口賢紀, 今野豊彦.
英文:	Takahisa Shiraishi, Kiriha Katayama, Tatsuhiko Yokouchi, Takao Shimizu, 及川貴弘, Hiroshi Uchida, HIROSHI FUNAKUBO, Takanori Kiguchi, Toyohiko Konno.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年10月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第35回エレクトロセラミックス研究討論会
英文:

開催地

和文:	東京都
英文: