スパッタリング法によるCa-Mg-Si 基膜熱電材料の特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	スパッタリング法によるCa-Mg-Si 基膜熱電材料の特性評価
英文:

著者

和文:	上原睦雄, 黒川満央, 秋山賢輔, 清水荘雄, 松島正明, 内田寛, 木村好里, 舟窪浩.
英文:	Mutsuo Uehara, Mao Kurokawa, Kensuke Akiyama, Takao Shimizu, masaaki matsushima, Hiroshi Uchida, YOSHISATO KIMURA, HIROSHI FUNAKUBO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年1月7日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第54回セラミックス基礎科学討論会
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開催地

和文:	佐賀市
英文: