酸化物薄膜の構造解析～HfO2基極薄膜の斜方晶相について～

論文・著書情報

タイトル

和文:	酸化物薄膜の構造解析～HfO2基極薄膜の斜方晶相について～
英文:

著者

和文:	白石貴久, 中村奨梧, 範滄宇, 片山きりは, 清水荘雄, 舟窪浩, 木口賢紀, 今野豊彦.
英文:	Takahisa Shiraishi, 中村奨梧, 範滄宇, Kiriha Katayama, Takao Shimizu, HIROSHI FUNAKUBO, Takanori Kiguchi, Toyohiko Konno.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年3月4日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	共用・計測合同シンポジウム2016 微細構造解析プラットフォーム・ワークショップ NIMS先端計測シンポジウム2016 合同シンポジウム
英文:

開催地

和文:	つくば市
英文: