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論文・著書情報


タイトル
和文:高密度プラズマを用いた3C-SiC/Si上のダイヤモンドヘテロエピタキシャル成長及び欠陥評価 
英文: 
著者
和文: 矢板潤也, 岩崎孝之, Meralys Natal, S. E. Saddow, 波多野睦子.  
英文: Junya Yaita, Takayuki Iwasaki, Meralys Natal, S. E. Saddow, Mutsuko Hatano.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2016年9月14日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第77回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:新潟 
英文: 

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