電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価
英文:

著者

和文:	寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋.
英文:	Minami Teranishi, Mark Chang, Chun Yi Chen, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
英文:

開催地

和文:	平戸
英文: