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論文・著書情報


タイトル
和文:YOFセラミックスのプラズマ耐性評価 
英文:Evaluation of Plasma Resistance of YOF Ceramics 
著者
和文: 津之浦 徹, 吉田克己, 矢野豊彦.  
英文: Toru Tsunoura, Katsumi Yoshida, Toyohiko Yano.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ     # 19p-W621-8   
出版年月 2016年3月19日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第63回応用物理学会春季学術講演会 
英文:The 63rd JSAP Spring Meeting, 2016 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 

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