基板上に形成された薄膜の残留応力と構造 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	基板上に形成された薄膜の残留応力と構造
英文:

著者

和文:	野村秀史.
英文:	Hideshi Nomura.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第9069号

学位授与日

2013/03/26

審査員

鞠谷雄士.

ファイル

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