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論文・著書情報


タイトル
和文:ULSIの製造におけるドライエッチングの形状および選択性の制御に関する研究 
英文:Study on dry etching for profile and selectivity control in ULSI (ultra-large scale integrated circuits) manufacturing 
著者
和文: 戸野谷純一.  
英文: .  
種別
種別:学位論文(博士) 
国名:Japan 
言語 English 
学位授与組織 Tokyo Institute of Technology 
報告番号 甲第5921号 
学位授与日 2004/09/30 
審査員  
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