フォトリソグラフィで製作するDEアクチュエータ駆動蠕動マイクロポンプの提案

論文・著書情報

タイトル

和文:	フォトリソグラフィで製作するDEアクチュエータ駆動蠕動マイクロポンプの提案
英文:	Proposal of a DE actuator-driven peristaltic micropump fabricated by photolithography

著者

和文:	嚴祥仁, 浅井健太, 宮田航成, 金俊完, 吉田和弘.
英文:	Sang In EOM, Kenta Asai, Kosei Miyata, Joon-wan KIM, KAZUHIRO YOSHIDA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成28年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集
英文:	The Proceedings on Autumn Conference of Japan Fluid Power System Society 2016

巻, 号, ページ

p. 32-34

出版年月

2016年10月19日

出版者

和文:	一般社団法人日本フルードパワーシステム学会
英文:

会議名称

和文:	平成28年秋季フルードパワーシステム講演会
英文:	Autumn Conference of Japan Fluid Power System Society 2016

開催地

和文:	青森市
英文:	Aomori

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