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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Release Agent Free Ultraviolet Nanoimprint Lithography by Cyclic Olefin Polymer and Polydimethylsiloxane Made Mold 
著者
和文: 橋本優生, 茂木 克雄, 山本 貴富喜.  
英文: Yuki Hashimoto, Mogi Katsuo, Takatoki Yamamoto.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 167-169
出版年月 2016年6月26日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2016 (APCOT 2016) 
開催地
和文: 
英文:Kanazawa 

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