積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの温度依存性のシミュレーションの検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの温度依存性のシミュレーションの検討
英文:

著者

和文:	鈴木拓真, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Takuma Suzuki, Tso-Fu Mark Chang, Chun Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	応用物理学会 2017年春季講演会
英文:

巻, 号, ページ

p. 14p-P3-11

出版年月

2017年3月14日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	応用物理学会 2017年春季講演会
英文:

開催地

和文:	横浜
英文: