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論文・著書情報


タイトル
和文:積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討 
英文: 
著者
和文: 小西敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之.  
英文: Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:応用物理学会 2017年春季講演会 
英文: 
巻, 号, ページ         p. 14p-P3-16
出版年月 2017年3月14日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:応用物理学会 2017年春季講演会 
英文: 
開催地
和文:横浜 
英文: 

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