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論文・著書情報


タイトル
和文:積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討 
英文:A study of module using MEMS accelerometer by multi-layer metal technology 
著者
和文: 高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉.  
英文: Motohiro Takayasu, Toshiaki Gonda, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Toshifumi Konishi, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2017年3月14日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第64回 応用物理学会 春季学術講演会 
英文:The 64th JSAP Spring Meeting, 2017 
開催地
和文:神奈川県 
英文: 

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