リソグラフィ技術を用いた梁集合体を有する双極型静電チャックモジュールの開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	リソグラフィ技術を用いた梁集合体を有する双極型静電チャックモジュールの開発
英文:	Development of the bipolar electrostatic chuck module having beam assembly microstructure using lithographic technique

著者

和文:	崔勝萬, 河野健人, HEMTHAVYPASOMPHONE, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
英文:	Choi Seungman, Kento Kawano, PASOMPHONE HEMTHAVY, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2017年度精密工学会春季大会学術講演会論文集.
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年3月1日

出版者

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会議名称

和文:	2017年度精密工学会春季大会学術講演会.
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開催地

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