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論文・著書情報


タイトル
和文:Deep-RIEとXeF2気相エッチングによるVOx/Si3N4/SiO2メンブレンの製作 
英文: 
著者
和文: 前田 幸平, 西岡國生, ヴァン ニュハイ, 松谷晃宏, 立木 隆, 内田 貴司.  
英文: 前田 幸平, Kunio Nishioka, ヴァン ニュハイ, Akihiro Matsutani, 立木 隆, 内田 貴司.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第64回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         14p-317-3
出版年月 2017年3月14日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第64回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:横浜 
英文: 

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