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タイトル
和文:微細毛構造を持つ双極型静電チャックの吸着部平滑化による把持性能向上 
英文: 
著者
和文: 河野 健人, Hemthavy Pasomphone, 高橋 邦夫, 齋藤滋規.  
英文: Kento Kawano, PASOMPHONE HEMTHAVY, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2017年3月1日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:2017年度精密工学会春季大会 
英文: 
開催地
和文: 
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