Highly hydrogen-sensitive thermal desorption spectroscopy system for quantitative analysis of low hydrogen concentration (~1 × 10¹⁶atoms/cm³) in thin-film samples;

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Highly hydrogen-sensitive thermal desorption spectroscopy system for quantitative analysis of low hydrogen concentration (~1 × 10¹⁶atoms/cm³) in thin-film samples;

著者

和文:	半那拓, 平松秀典, 坂口勲, 細野秀雄.
英文:	Taku Hanna, Hidenori Hiramatsu, Isao Sakaguchi, Hideo Hosono.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Review of Scientific Instruments

巻, 号, ページ

88 053103-1 -13

出版年月

2017年5月2日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文:

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