Low Temperature MOCVD of Ta2O5 with good dielectric property from Ta(NtBu)(OtBu)3 and O2

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low Temperature MOCVD of Ta2O5 with good dielectric property from Ta(NtBu)(OtBu)3 and O2

著者

和文:	千葉洋一, Ken-ichi TADA, Taishi FURUKAWA, Toshiki YAMAMOTO, Tadahiro YOTSUYA, Noriaki OSHIMA, 舟窪浩.
英文:	Hirokazu CHIBA, Ken-ichi TADA, Taishi FURUKAWA, Toshiki YAMAMOTO, Tadahiro YOTSUYA, Noriaki OSHIMA, Hiroshi FUNAKUBO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Ceram. Soc. Jpn.

巻, 号, ページ

vol. 124 no. 5 pp. 510-514

出版年月

2016年5月1日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI