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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effects of Bi-Layered Au/Ti Structure on Mechanical Properties of Micro-Cantilever Evaluated by Micro-Bending Test Toward Applications in MEMS Devices 
著者
和文: Hashigata Ken, Tang Hao-Chun, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人.  
英文: Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:MNE2017 
巻, 号, ページ        
出版年月 2017年9月18日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:43rd International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2017) 
開催地
和文: 
英文:Braga 

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