Effects of Bi-Layered Au/Ti Structure on Mechanical Properties of Micro-Cantilever Evaluated by Micro-Bending Test Toward Applications in MEMS Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Bi-Layered Au/Ti Structure on Mechanical Properties of Micro-Cantilever Evaluated by Micro-Bending Test Toward Applications in MEMS Devices

著者

和文:	Hashigata Ken, Tang Hao-Chun, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	MNE2017

巻, 号, ページ

出版年月

2017年9月18日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	43rd International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2017)

開催地

和文:
英文:	Braga