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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technology 
著者
和文: 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉.  
英文: Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 2187-2190
出版年月 2017年6月18日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:The 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017) 
開催地
和文: 
英文:Kaohsiung 
公式リンク http://www.transducers2017.org/
 

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