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論文・著書情報


タイトル
和文:MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路の評価 
英文:An evaluation of capacitive sensor circuit for MEMS accelerometers 
著者
和文: 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉.  
英文: Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2017年7月26日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第8回 集積化MEMS技術研究ワークショップ 
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開催地
和文:香川県 
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