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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:LONG-TERM VIBRATION CHARACTERISTICS OF MEMS INERTIAL SENSORS BY MULTI-LAYER METAL TECHNOLOGY 
著者
和文: 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉.  
英文: Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proceedings of the 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS) 
巻, 号, ページ         pp. 2187 - 2190
出版年月 2017年8月18日 
出版者
和文: 
英文:IEEE Conference Publications 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994510

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