Material Design of High Strength Electroplated Gold Alloy toward High-Sensitive MEMS Accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Material Design of High Strength Electroplated Gold Alloy toward High-Sensitive MEMS Accelerometers

著者

和文:	曽根正人, Tang Hao-Chun, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 名越貴志, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 益一哉.
英文:	Masato Sone, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017

開催地

和文:
英文:	Taipei