パルスレーザ堆積法を⽤いたチタン酸窒化物薄膜の作製

論文・著書情報

タイトル

和文:	パルスレーザ堆積法を⽤いたチタン酸窒化物薄膜の作製
英文:	Growth of titanium oxynitride films by using pulsed-laser deposition

著者

和文:	水城淳, 井上忠彦, 吉松公平, 大橋直樹, 大友明.
英文:	Jun Mizushiro, Tadahiko Inoue, K. Yoshimatsu, Naoki Ohashi, A. Ohtomo.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年9月7日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第78回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 78th JSAP Spring Meeting, 2017

開催地

和文:	福岡
英文:	Fukuoka

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