熱ナノインプリントによる原子ステップ型フレキシブル基板上導電性薄膜の周期的微細構造作製

論文・著書情報

タイトル

和文:	熱ナノインプリントによる原子ステップ型フレキシブル基板上導電性薄膜の周期的微細構造作製
英文:	Fabrication of periodic nanostructure of conductive thin films on atomically stepped flexible substrate by thermal nanoimprint technique

著者

和文:	山田志織, 後藤里紗, 木下太一郎, 小松克伊, 谷山智康, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Shiori Yamada, Risa Goto, Taichiro Kinoshita, Katsuyoshi Komatsu, TOMOYASU TANIYAMA, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年8月25日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第78回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017

開催地

和文:	福岡県福岡市
英文:	Fukuoka

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