β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜のレーザー励起室温固相エピタキシーに与えるサファイア基板上バッファ層の効果

論文・著書情報

タイトル

和文:	β-Ga₂O₃薄膜のレーザー励起室温固相エピタキシーに与えるサファイア基板上バッファ層の効果
英文:	Effect of buffer layer on solid phase epitaxy of β-Ga₂O₃ thin films by room temperature laser annealing

著者

和文:	中村稀星, 森田公之, 土嶺信男, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Kisho Nakamura, Hiroyuki Morita, Nobuo Tsuchimine, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年8月25日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第78回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017

開催地

和文:	福岡県福岡市
英文:	Fukuoka

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