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論文・著書情報


タイトル
和文:金めっきで形成したMEMS加速度センサの長期振動特性に関する検討 
英文:A Study of Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Accelerometers Fabricated by Au Electroplating 
著者
和文: 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉.  
英文: Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2017年9月5日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第78回 応用物理学会 秋季学術講演会 
英文:The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017 
開催地
和文:福岡県 
英文: 
公式リンク https://meeting.jsap.or.jp/
 

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