Utilization of supercritical carbon dioxide in the electrodeposition of Au films for MEMS application

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Utilization of supercritical carbon dioxide in the electrodeposition of Au films for MEMS application

著者

和文:	Tang Haochun, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年10月20日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	TSCFA 2017 Annual Meeting

開催地

和文:
英文:	Taichung