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論文・著書情報


タイトル
和文:3軸MEMS加速度センサにおける単一Au錘および電極分割方式の検討 
英文:A Study of a Single Au Proof Mass and Segmented Electrodes for Tri-axis MEMS Accelerometer 
著者
和文: 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉.  
英文: Shouta Otobe, Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2017年10月31日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 
英文:The 34th SENSOR SYMPOSIUM 
開催地
和文:広島県 
英文: 
公式リンク http://www.sensorsymposium.org/index_j.html
 

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