発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討
英文:

著者

和文:	折原恒祐, 高安基大, 道正志郎, 伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
英文:	Kosuke Orihara, Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

31am3-PLN-2

出版年月

2017年10月31日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
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開催地

和文:	広島県
英文:

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