積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討
英文:

著者

和文:	小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 曽根正人, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年10月31日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第9回集積化MEMSシンポジウム
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開催地

和文:	広島県
英文:

公式リンク

http://annex.jsap.or.jp/MEMS/

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