【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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タイトル
和文:
積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討
英文:
著者
和文:
小西 敏文
,
山根 大輔
,
佐布 晃昭
,
曽根 正人
,
年吉 洋
,
益 一哉
,
町田 克之
.
英文:
Toshifumi Konishi
,
Daisuke Yamane
,
Teruaki Safu
,
Masato Sone
,
Hiroshi Toshiyoshi
,
Kazuya Masu
,
Katsuyuki Machida
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2017年10月31日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
第9回集積化MEMSシンポジウム
英文:
開催地
和文:
広島県
英文:
公式リンク
http://annex.jsap.or.jp/MEMS/
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