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論文・著書情報


タイトル
和文:積層メタルMEMS慣性センサの長期振動特性評価 
英文: 
著者
和文: 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉.  
英文: Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2017年10月31日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第9回集積化MEMSシンポジウム 
英文: 
開催地
和文:広島県 
英文: 
公式リンク http://annex.jsap.or.jp/MEMS/
 

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