(1FrO1.5)INFLUENCE OF DC POWER ON THE PROPERTIES OF i-a-Si:H PASSIVATION LAYER DEPOSITED BY FACING TARGET SPUTTERING

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	(1FrO1.5)INFLUENCE OF DC POWER ON THE PROPERTIES OF i-a-Si:H PASSIVATION LAYER DEPOSITED BY FACING TARGET SPUTTERING

著者

和文:	白取優大, ファリスアキラビンモハマドズルキフリ, 中田和吉, 宮島晋介.
英文:	Yuta Shiratori, Faris Akira, Kazuyoshi Nakada, Shinsuke Miyajima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年11月12日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-27)

開催地

和文:
英文:	Otsu